在三维表面测量领域，白光干涉已成为最有效的方法之一。由于其几乎无限的分辨率和快速的响应时间，压电致动器能够显着提高精度和速度。

piezosystem jena推出了新的MIPOS 16-158 - 专门设计用于光学系统的高精度定位，准确度在亚纳米范围内。 MIPOS 16的高分辨率和快速响应时间为干涉测量提供了新的可能性。
基于其独特的设计，孔径104 mm，台高42 mm，MIPOS 16-158提供了符合白光干涉测量要求的技术规格。
MIPOS 16-158可以实现高达16μm的聚焦范围和小于0.1nm的单步分辨率，同时工作电压范围在-20至130V之间.MIPOS 16-158可以集成到计量设置中和设备。